导模共振亚波长滤光器件因为具有极窄的带宽、极高的衍射效率和结构简单
等优点，近年来受到了人们广泛的关注。利用导模共振效应，可以设计出性能卓越的光学滤波器，偏振分离器等光学器件，促进光通信以及相关光学领域的发展。本论文利用亚波长光栅导模共振效应，对具备滤光和高反特性的导模共振亚波长滤光器件从理论设计、实验制备以及应用三个方面进行了研究，基于全息工艺制备了共振波长在 693 nm 的可见光波段的导模共振滤光器件，设计了几种可调谐导模共振滤光器件，并分析讨论了导模共振器件的应用前景。本文首先介绍了严格的矢量衍射理论，并阐述了利用耦合波方法分析处理不
同偏振入射时的矩形槽光栅的衍射问题的一般过程。基于亚波长光栅结构的导模共振异常现象，分析了不同的结构参数对导模共振滤光器件光学特性的影响，通过调节这些结构参数可以设计出具有理想滤光特性曲线的导模共振滤光器件的结构。研究了光栅结构之下的薄膜层对亚波长光栅导模共振滤光器件的光谱特性的调控现象，并利用这种调控作用进行了两种创新方法和技术的研究：（1）在设计亚波长导模共振滤光器件的结构方面，通过调整光栅层结构之下的薄膜层厚度来达到不改变导模共振滤光片的光学特性的前提下减小光栅层槽深的设计要求，可以解决所设计光栅槽深过深带来制备工艺的困难，从而达到降低导模共振滤光片的制备难度的目的；（2）在制备亚波长导模共振滤光器件方面，分析了亚波长光栅结构的双层导模共振滤光片制备过程中由于对光栅层的过刻蚀现象造成的制备误差从而导致导模共振滤光片光谱漂移的现象。提出了通过对制备后期的滤光片镀上一定厚度和折射率的薄膜层可以修正由于周期和光栅槽深的制备误差而引起的光谱漂移现象，从而降低了亚波长导模共振滤光片对光栅周期和槽深制备精度的要求，降低了导模共振滤光片结构的制备难度，提高了样品制备的成品率。 针对导模共振光学元件在光通信、防伪以及可调谐激光器等领域的应用，基于严格的耦合波理论，研究了几种具有窄带高反射功能的可调谐导模共振滤光器件。介绍了利用方位角对导模共振滤光片的控制作用，提出了利用方位角的化实现可调谐导模共振滤光片结构的设计方法。结合聚合物分散液晶的电光特性设计了电控聚合物分散液晶折射率的可调谐导模共振滤光器件，实现了共振波长从672.4 nm 变化到 698.4 nm，可调谐共振波长最大调谐范围可达到 26 nm。此外，首次提出了光谱能量调谐导模共振滤光器件的概念及其设计方法，通过特定结构及利用方位角的改变可以实现导模共振的光谱能量在两个特定波长通道的调谐，这在光生物学精确定量的研究方面有着潜在的应用价值。提出利用导模共振光栅阵列再现彩色图像，通过结构相同仅周期不同微结构将光分解成所需要的红、绿、蓝三色光充当三基色，以此表现图像，改变了传统的用彩色油墨实现图像的色彩的概念。由于导模共振光栅微结构的结构简单，高衍射效率和窄带的性质，易得到高纯度的单色光，对微结构进行排列分布处理即可得到彩色图像。初步仿真结果表明在 TE 偏振光入射下已能够较真实的还原原图像。这种彩色图像再现的方法节省源、环保，还可以实现普通油墨无法印刷的光变效果，在印刷、真迹保存，光显示等行业具有巨大的潜在应用价值。 根据严格的耦合波理论和导模共振滤光片的设计方法设计了 2-18 GHz 微波波段的导模共振超材料结构，该材料在 9.7 GHz 波段截止透射，在除此截止带之外的整个 2-18 GHz 波段透射率超过 90%。此外，利用氧化铪和氧化钽两种不同折射率材料设计了具有相同共振波长的双层亚波长导模共振滤光片的结构，基于亚波长全息光栅掩模制备理论及工艺基础研究了亚波长导模共振滤光片的制备流程和工艺，制备了共振波长为 693 nm 的亚波长导模共振滤光片，对所制备的导模共振滤光片的滤光特性进行了测试并进行了误差分析。